旋转对称图形
旋转对称图形-
在无掩膜光刻系统的实现和应用方面，研究了微位移执行器、动态离焦源、调焦动态特性、系统硬件、系统软件，以及在制作旋转对称图形上的应用等等。
As for the reality and application of maskless lithography , this paper studies the micro-actuator , defocusing sources , dynamic focusing characteristics , system hardware , system software , fabrication of rotation symmetric figure , etc.