中国科学院上海微系统与信息技术研究所

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  1. 文章结合中国科学院上海微系统与信息技术研究所的工作,综述了SiGe-OI材料研究情况和应用前景,详细介绍了其主要的制备方法,最后报道了作者在SiGe-OI材料研究上的一些实验结果。

    We review the resent research on SiGe-OI , its applications and fabrication , including some results of our own work .